扫描电子显微镜 (SEM)
资产编号
MC-NA-0006
型号
SU3900
所属品牌
HITACHI
资产负责人
陈海滨 Haibin CHEN
放置地点
W2-123
主要规格&技术指标
1. 钨灯丝扫描电子显微镜；
2. 分辨率：3.0nm@30kV, 15nm@1kV；
3. 放大倍率： 5 ~ 300,000x；
4. 加速电压： 0.3 ~ 30 kV；
5. 低真空设定：6 ~ 650 Pa;
6. 样品台：最大样品直径300mm; 150×150mm 5轴马达驱动 (X: 0~150mm; Y: 0~150mm; Z: 5~85mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；
7. 元素分析仪：Oxford AZtecLive UltimMax 65.
主要功能及特色
1. 配备多功能超大样品仓，最大样品尺寸可达 300mm（直径）x 130 mm （高度）；
2. 配备高灵敏度背散射探头（BSE）；