多功能原子力显微镜
资产编号
MC-NA-0004
型号
AFM100 Plus
所属品牌
Hitachi
资产负责人
侯思润 Dennis Sirun HOU
放置地点
W1-124
主要规格&技术指标
1. 扫描范围：标准型20微米扫描器(XY:20um，Z:1.5um)，大范围100微米扫描器(XY:100um，Z:15um)
2. 噪音水平：标准型扫描器小于0.03nm (RMS)
3. XY最大范围±2.5mm，Z轴歩进马达(步进 50nm)，范围 10mm，漂移量小于0.03nm/sec
4. 样品台：直径20mm的金属样品台，带样品台扩大模块，样品最大尺寸为：直径35mmx10mm (H)
5. 扫描器控制电压：XY (±200V/18bit) Z (±200V/26bit)，扫描线预览功能，最大四通道预览，扫描旋转 ±180°(0.1° step)
6. 数据采集：4通道(最大2048 x 2048)，2通道(最大4096 x 4096)
主要功能及特色
1. 电磁性能测试附件：开尔文力显微镜KFM，压电响应显微镜PRM，AC模式的静电力显微镜EFM(AC)，DC模式的静电力显微镜EFM(DC)，磁力显微镜MFM
2. 电磁特性测量附件，扫描扩散电阻显微镜SSRM，导电原子力显微镜C-AFM，低电流导电原子力显微镜
3. 机械测量附件：粘弹性原子力显微镜VE-AFM，切向调制原子力显微镜LM-FFM，粘着力显微镜