微纳分析

主要规格&技术指标

1. 冷场发射电子枪;

2. 分辨率：0.7nm@15kV ,0.8nm@1kV；

3. 放大倍率： 20 ~ 1,000,000x；

4. 加速电压： 0.5 ~ 30 kV；

5. 着落电压：0.1 ~ 2 kV；

6. 样品台：4 英寸样品预抽室；

7. 元素分析仪：Oxford Ultim Max 100;

8. 配备真空转移系统;

主要功能及特色

1. Hitachi Regulus 系列在极低加速电压至高加速电压的宽泛条件下，均可实现高分辨观察和分析。可用于材料的高分辨形貌，显微组织，晶体结构，化学成分等分析。适用于各种材料和结构，包括金属，陶瓷，高分子，纳米线，电子器件等;

2. 配备真空转移系统，可以在不接触空气的环境中更换样品。