台阶仪
资产编号
MC-SA-0005
型号
Alpha-Step D-600
所属品牌
KLA-Tencor
资产负责人
侯思润 Dennis Sirun HOU
放置地点
W1-124
主要规格&技术指标
1. 最高分辨率0.38 Å
2. 测试重复性5.0 Å或0.1%
3. 扫描时最小正压力0.03 mg
4. 测量采样点40万个
5. 测量范围1200um
6. 样品台XY马达驱动150×150mm
7. 样品台尺寸≥120mm
主要功能及特色
1. 具有双向扫描测量的功能
2. 系统配有150×150mm 口径的超大超厚超光滑平晶