表面分析

主要规格&技术指标

1. 扫描范围：X，Y轴扫描范围≥90um × 90um，Z轴扫描范围≥10um

2. X,Y轴闭环噪音≤150pm (1Hz-1kHz)，Z轴闭环噪音≤35pm (1Hz-1kHz)

3. 扫描速度：1um范围扫描像素点至少256X256,扫描成像速度不低于40Hz；50um大范围扫描像素点至少256X256,扫描成像速度不低于15Hz

4. 样品台：最大可容纳样品直径≥210mm，最大可容纳样品厚度≥50mm

5. 马达控制：样品台移动速度≥40mm/s，样品台360度旋转

6. 光电检测器：检测带宽≥7MHz，检测系统噪声<10pm，高度检测噪声＜25pm

主要功能及特色

1. PeakForce Tapping技术，更便捷获得可靠的高分辨率数据

2. PeakForce QNM峰值力定量纳米力学技术， 在获得高分辨率形貌的同时，还可以得到定量杨氏模量、定量粘附力、定量样品形变量，以及耗散能等多种力学信息

3. PeakForce TUNA峰值力高分辨率电流模块，同步进行形貌、定量纳米力学以及高分辨率电流测试

4. 扫描电容显微模块，实现超快的扫描电容显微镜扫描成像，在保证成像的 质量下，在扫描形貌的同时获得电容、deflection等丰富的信号通道

5. 具备材料高温加热器和制冷加热样品台