微纳分析

主要规格&技术指标

1. 热场发射电子枪；

2. 分辨率：1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV；

3. 放大倍率： 10 ~ 600,000x；

4. 加速电压： 0.5 ~ 30 kV；

5. 低真空模式：10~300Pa;

6. 样品台：最大样品直径200mm; 最大高度80mm; 100×50mm 5轴马达驱动 (X: 0~100mm; Y: 0~50mm; Z: 3~65mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；

7. 元素分析仪：Oxford AZtecLive UltimMax 65.

主要功能及特色

1. 适合大样品，最大样品尺寸可达 200mm（直径）x 80 mm （高度）；

2. 大束流（>200nA), 适合微区分析（EBSD， EDX）；

3. 具有优异的低真空(10-300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器 (UVD)；

4. 配备高灵敏度背散射探头（BSE）和高性能背散射衍射仪（EBSD）;

5. 配备力学拉伸台进行原位测试;