表面分析

主要规格&技术指标

1. 真空舱真空体系： 3 级，分析室真空度 < 1×10^-10 torr；

2. 最高电压脉冲频率：500 kHz；

3. 最高激光脉冲频率：400 kHz；

4. 紫外(UV)激光波长：257.5 nm；最细焦斑：3μm；

5. 最大数据收集速率＞4M ions/min；

6. TOF质谱仪，离子飞行轨迹长度382 mm；

7. 质量分辨率：FWHM，1:1000；FWTM，1:475；FW1%M，1:275；

8. 真空低温转送装置，能够为 FIBSEM 样品制备系统与分析设备之间样品转运过程中提供高真空及低温环境。

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主要功能及特色

三维原子探针又叫原子探针层析技术是目前唯一一种可提供原子级三维立体图像和化学成分度量的材料分析技术，深度分辨率可达0.1-0.3nm，横向分辨率可达0.3-0.5nm，适合于研究纳米尺度的微小结构（沉淀、团簇、GP区等）的尺寸、分布及成分，以及元素在各种内界面（晶界、相界、多层膜结构中的层间界面等）的偏聚行为。

其工作原理是给针尖形状的样品加上一个基本高电压并辅以电脉冲或激光脉冲使得样品中的原子逐个被场离化。离化后的离子进入飞行时间质谱仪到达具有二维位置分辨功能的探测器上并记录飞行时间，到达时间以及二维位置。通过计算机模拟技术得到组成样品的各种元素原子在空间的分布图，从而进一步进行定量分析。

该技术提供了独有的材料在小体积内原子级分辨率的元素分布层析图，可用于分析包括金属、半导体器件、纳米材料、矿物、以及有机和生物材料等。

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样本检测注意事项

APT样品要求：

1. 针尖状样品；

2. 样品尖端曲率半径50-100nm；

3. 所关注的结构距离样品顶50-200nm；

4. 样品必须能放到APT系统的样品托Puck上。

由于测试成功率及结果与制样有密切关系，制样前请先联系沟通制样要求。