微纳分析

主要规格&技术指标

1. 冷场发射电子枪;

2. 分辨率：0.6nm@15kV ,0.7nm@1kV；

3. 放大倍率： 20 ~ 2,000,000x；

4. 加速电压： 0.5 ~ 30 kV；

5. 着落电压：0.01 ~ 20 kV；

6. 样品台：6 英寸样品预抽室; 110×110mm 5轴马达驱动（XY: 0 ~110mm; Z: 1.5~40mm; R: 360o; T: - 5 ~ 70o);

7. 元素分析仪：Oxford AZtecLive UltimMax 170;

主要功能及特色

1. Hitachi Regulus 系列在极低加速电压至高加速电压的宽泛条件下，均可实现高分辨观察和分析。可用于材料的高分辨形貌，显微组织，晶体结构，化学成分等分析。适用于各种材料和结构，包括金属，陶瓷，高分子，纳米线，电子器件等;

2. 配备高位，顶位，低位三个探测器，可以满足各种观察需求的衬度图像;

3. 通过与大窗口面积EDX探测器联用，在低加速电压条件下实现高通量，高空间分辨率的元素分布图;

4. 可以选用减速功能，对不导电材料，比如软材料，进行观察。