样品制备

主要规格&技术指标

1. 配备两级真空泵，极限真空度优于8x10-8 Torr

2. 配置一个6 x 15cc电子束源，功率8干瓦，最大高压10干伏

3. 可固定8英寸圆片及兼容4/6英寸样品

4. 膜厚控制仪速率分辨率＜±0.035A，蒸镀率显示0.1 A/S，膜厚分辨率＜1A

5. 薄膜沉积均匀性片内优于±3%，片间优于±3% (8英寸基片范围)

主要功能及特色

1. 配备X/Y扫描控制器，手动或自动选择电子束扫描模式

2. 采用Windows计算机全自动操作系统，图形化显示及记录所有系统运行数据

备注

设备仅接受送样，仅限于磁控溅射金属镀膜，送样请注明镀膜金属材料名称及镀膜厚度。