样品制备

主要规格&技术指标

1. 分析用Bi离子源， 离子束流：＞40nA，最大重复速率：50 kHz (对于所有操作模式)。脉冲离子束流：≥40 pA，最小脉冲束流直径：≤50 nm（高分辨成像模式）； 可以提供快速成像模式，最小束斑直径：≤90nm @ 350pA DC

2. 软硬件上支持G-SIMS分析，可以对有机大分子进行G-SIMS分析，可以实时改变G参数，改变分子离子峰和碎片峰比值，有助于有机大分子判定。

3. 分析灵敏度> 8.0×108 Al+/nC @ 7000（FWHM）。分析绝缘体时质量分辨(on PET：104amu)：≥18000 (半峰宽；100%传输率)

4. 高性能Orbitrap 质谱仪，质量精度：< 1 ppm (RMS)，使得Ar离子团簇离子源最小离子束斑＜3um。

5. EDR Analyzer：线性响应范围内最大计数率 > 1×107 次/秒

主要功能及特色

1. 新型 Phoenix 离子镜筒具有卓越的低电压性能，可为TEM和 APT应用提供最高质量、定点、超薄样品制备

2. AutoTEM 5全自动透射电镜样品制备软件，实现最快、最简单、全自动、无人值守、TEM样品制备和横截面加工

3. 最佳 Elstar 电子镜筒搭载 SmartAlign和 FLASH闪调技术，可为任何经验水平的用户在最短时间内获取纳米尺度信息

4. 电子枪搭载全新一代大束流 UC+ 单色器技术可在低电压下提供亚纳米分辨率，揭示最细节的信息，电子束分辨率1KV下高达0.7nm

5. 多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息

6. Auto slice&view 4 软件，精确定位感兴趣区域，获取最高质量、多模态内部和三维信息，全自动三维切片及成像，可实现三维EDS&EBSD重构

7. 纳米原型制备，可实现小于 10 nm 复杂结构的快速、精确加工、刻蚀和沉积

8. 高精度、高稳定度的 150 mm行程压电陶瓷驱动样品台和样品仓Nav-Cam光学导航相机实现精确样品导航