混合型飞行时间二次离子质谱
主要规格&技术指标
1. 分析用Bi离子源， 离子束流：＞40nA，最大重复速率：50 kHz (对于所有操作模式)。
2. 脉冲离子束流：≥40 pA，最小脉冲束流直径：≤50 nm（高分辨成像模式）； 可以提供快速成像模式，最小束斑直径：≤90nm @ 350pA DC2.软硬件上支持G-SIMS分析，可以对有机大分子进行G-SIMS分析，可以实时改变G参数，改变分子离子峰和碎片峰比值，有助于有机大分子判定。
3. 分析灵敏度> 8.0×108 Al+/nC @ 7000（FWHM）。分析绝缘体时质量分辨(on PET：104amu)：≥18000 (半峰宽；100%传输率)
4. 高性能Orbitrap 质谱仪，质量精度：< 1 ppm (RMS)，使得Ar离子团簇离子源最小离子束斑＜3um。
5. EDR Analyzer：线性响应范围内最大计数率 > 1×e7 次/秒
主要功能及特色
1. 新型 Nanoprobe 50 具有高横向分辨率 (< 50 nm)
2. 质量分辨率> 30,000，灵敏度提高3倍
3. 独特的延迟提取模式，在10000以上的质量分辨率同时得到优于50nm的横向分辨率。
4. 具有高精度光阑切换系统，结合全自动离子束对准功能。可以从9个光阑中选择，在<2s的时间以纳米精度对准
5. 双束离子源适用于所有无机材料的深度剖析。
6. 具有集成质谱、成像、深度剖析和3D分析集成的多元统计分析(MVSA) 软件包
样本检测注意事项
样品要求：
样品尺寸长宽介于1~1.5cm之间，厚度小于0.5cm的薄片状样品。样品必须适用于真空环境，应当为固体或粉末，不含有毒、有害、有腐蚀性及放射性物质，磁性样品送样前需要提前告知。
主要附件：
1. 液态金属离子枪（LMIG)-BiMn 团簇离子枪Nanoprobe 50；
2. 电子束轰击气体离子源(O源);
3. 热离化 Cs 离子源;
4. 氩团簇离子源（GCIB）
5. 聚焦离子双束（FIB) :（Ga 离子）聚焦离子束刻蚀离子源，可提供完整的 FIB 铣削和 FIB 断层扫描功能。
6. 变温样品台：全温控电阻加热和液氮（LN2）冷却系统，可在快速进样室内进行样品加热和冷却。温度控制范围：-150℃~600℃。