环境扫描电子显微镜(ESEM)

资产编号
MC-NA-0007
型号
Prisma E
所属品牌
Thermo Fisher Scientific
资产负责人
陈海滨 Haibin CHEN
放置地点
W2-131
主要规格&技术指标
1. 具有ESEM功能;
2. 分辨率:3.0nm@30kV, 8.0nm@3kV (high vacuum);3.0nm@30kV, 10nm@3kV (low vacuum);3.0nm@30kV (ESEM);
3. 放大倍率: 5 - 1,000,000x;
4. 加速电压: 0.2 ~ 30 kV;
5. 低真空设定:可达130 Pa;
6. ESEM真空设定:可达2600 Pa;
7. 样品台:样品直径在122mm以下可以XY自由移动; 110×110mm 5轴马达驱动 (X: 0~110mm; Y: 0~110mm; Z: 65mm; R: 360o; T: -15o ~90o );
8. 元素分析仪:EDS UltraDry 129eV 30M;
主要功能及特色
1. 环境扫描功能;
2. 配备冷台;
3. 配备可伸缩型定向背散射电子探测器和能谱仪;