分子结构

主要规格&技术指标

1. 光谱范围193-1690nm; 

2. 自动变角基座：45-90°； 

3. Z轴：自动移动，最大行程18mm，最小步长1um；

4. 光斑尺寸：普通光斑4mm直径，微光斑300um直径；

5. 测量参数包括：分光椭偏Ψ和Δ；透射及反射强度百分比；退偏振百分比；广义椭偏；穆勒矩阵； 

6. 全穆勒矩阵测量达到0.3秒；

7. 测试准确性：Psi 45°±0.02°，Delta 0°±0.05°,Depolarization 0%±0.5%，15 normalized Muller-Matrix elements, Diagonal 1±0.002，Off-Diagonal 0±0.002.

主要功能及特色

1. 宽的光谱范围，覆盖深紫外到近红外193-1690nm;

2. 能够采集穆勒矩阵全部16个元;

3. 配备聚焦件可测量微小样品； 

4. 测试准确性高，重复性好；

5. 软件材料库全、色散模型多，功能齐全;

6. 通过测量偏振光经过样品表面反射后偏振态的改变，基于光学模型的数据分析，可获得薄膜厚度和光学常数等参数；

7. 自动样品台可实现Mapping功能。