微纳分析

主要规格&技术指标

1. 电子枪: 高亮度肖特基场发射电子枪（配备单色器）;

2. TEM模式信息分辨率: 60 pm@300 kV;

3. STEM 模式分辨率: 50 pm@300 kV;

4. 加速电压: 30 kV, 60 kV, 200 kV, 300 kV;

5. 电子枪单色仪能量分辨率: 0.025eV

6. 分析束流:>=2 nA@0.14nm;

7. 扫描透射(STEM)模式: 包含三个探头，高角环形暗场探头(HAADF)、明场探头(BF)、环形暗场探头(ADF);

8. 电子能量损失谱EELS: 探测器尺寸: 18μm^2 (2048 × 64 pixels)

主要功能及特色

Spectra 300 球差校正电子显微镜具有最为快速、准确且量化的多维纳米材料表征分析能力。可以实现TEM和STEM成像，选区电子衍射，能量色散X射线谱，电子能量损失谱，三维重构等功能。